18일 오전 ASML 코리아(화성시)에서 오병권 경기도지사 권한대행, 피터 베닝크 ASML CEO, 이우경 ASML 코리아 대표, 서철모 화성시장, 문승욱 산업통상부 장관, 이원욱 국회의원, 이은주 경기도의원, 황광용 화성시의원, 이창한 한국반도체산업협회 부회장 등이 참석한 가운데 경기도-화성시-ASML 투자협약식 행사가 열렸다.